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富士金隔膜閥的工作原理是通過機械加速機構（如危急遮斷器或手動遮斷滑閥）的單動作或同時動作，使透平油系統中的保安油油壓下降或消失，從而使壓縮彈簧打開薄膜閥，將AST油通過無壓力回油母管排至EH油箱，進而關閉所有閥門。
氣動隔膜閥又稱隔膜截止閥，是指在閥體和閥蓋內裝有柔性隔膜或組合隔膜，其關閉部分與隔膜相連的壓縮裝置。閥座可以是堰形的，也可以是直通道的管壁。隔膜閥的柔性膜或復合膜被控制室包圍。通過向控制室注入壓縮空氣、天然氣、水或其他物質產生壓力，使柔性膜或復合膜被壓縮彎曲，膜的橫截面發生變化甚至閉合，從而控制流量和進料。當控制壓力比輸送液體的壓力高約2.5bar時，隔膜閥可密封氣體、液體、糊狀和粉狀液體。高彈性隔膜可輸送任何材料，尤其是粉狀材料。
應用行業:半導體、太陽能、液晶面板制造等行業，或者其他一些有超高純流體要求的行業.
應用流體:設備和機臺里面的超高純氣體、易燃易爆氣體以及有毒氣體等特種電子氣體.
工作壓力:低壓(1MPa),高壓(16.2MPa)
工作溫度: -10℃-80℃
動作方式:手動和氣動
氣動閥有常開和常閉兩種初始狀態可選
連接方式:焊接、卡套、VCR等連接方式
表面處理:EP(標準)，10Ra,Ry＜1.0um; UP (可選):5Ra,Ry＜0.7um.
接口尺寸:1/4"-3/4
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