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The MKS Instruments 1479A Mass-Flo? Metal-Sealed Mass Flow Controller (MFC) is a robust, metal-sealed mass flow controller designed to measure and control the flow of gases in high purity applications. The 1479 can also be used as a pressure controller when connected to a suitable pressure transducer.
The 1479A Mass-Flo? Metal-Sealed Mass Flow Controller is a direct form-fit-function replacement for the most common MFCs on the market today. It is available in both analog and digital (contact MKS Applications Engineering) models with accuracies of 1% of Full Scale and 1% of Reading, respectively.
For24VDCandProfibusversions of this product, pleasecontact MKS
。MKS真空計是美國原廠原裝，因為此產品大部分使用在軍工方面，再加上中美貿易戰的影響，美方政府限制MKS的真空計進口到中國，所以之前很多使用美國MKS真空計的用戶們感到非常頭疼，我司了解到了這樣的情況后，讓我司高級工程師徐工找了很多品牌的真空計試圖替代美國MKS真空計，反復試驗了很多次之后，終于找出了一款可以*替代美國MKS真空計的產品，它就是瑞士INFICON，以下我為大家講解一下瑞士INFICON其中一款真空計CDG045D的原理及用途！
瑞士INFICON真空計CDG045D的溫度控制在45°C，具有出色的信號穩定性和可重復性。它們可用于50 mTorr至1000 Torr的滿量程范圍，具有所有常見的法蘭類型和現場總線接口，并提供線性0至10 V，氣體類型獨立的壓力信號。INFICON電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，耐腐蝕。陶瓷傳感器的優點是更好的信號穩定性，更快的大氣恢復，短暫的預熱時間和非凡的使用壽命。INFICON CDG是高質量，高性價比的壓力傳感器，適用于要求苛刻的真空應用。INFICON SKY CDG045D電容式隔膜真空計是Oerlikon Leybold CTR 101變送器的直接替代品。從制造商處獲取原件，為所有應用程序提供支持和解決方案。
主要涉足低溫、電子、真空行業。公司擁有一批資深技術團隊，是集生產、貿易、維修服務為一體的高科技公司。公司核心技術人員依托美國Chart（原中國國企“金鳳“）及航空、核工業物理所技術優勢，致力于低溫儲存技術、真空絕熱技術、深冷處理技術的研究、開發及系統集成，提供特殊低溫應用領域的技術方案、產品設計及專用低溫設備研發；代理業務包括銷售國產品:美國AEG調功器、美國AE（Advanced Energy）公司電源、德國普發Pfeiffer真空設備及儀器、美國Brooks Automation CTI低溫冷泵、GP真空計、瑞士英福康inficon、Brooks instrument流量計、GNB真空閥門等產品。
公司總部位于中國成都經濟技術開發區，在上海、重慶設有事務所。四洋科技是一家專業的真空獲得、真空檢漏、低溫設備制造供應商，公司擁有一批資深技術團隊是集生產、貿易、維修服務為一體的高科技公司，并先后參與了國家"863"、"125"部分項目研究合作，并建立了長期穩定的合作關系。公司秉承科技技術的理念，與品牌Inficon英福康、Pfeiffer普發、Adixen阿爾卡Busch 旭、CVI低溫泵、VAT真空閥門、Swagelok真空配件、Line Tech 流量計、Brooks Instrument 流量計等建立了戰略合作關系。
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用途
與CTR 101發射器*兼容
降低CoO（擁有成本），預熱50％，節能低功耗
易于集成，各種滿量程，法蘭和接口，標準有兩個設定點
輕松一鍵式或遠程信號零點命令，零點偏移可調
診斷端口，用于快速維護和維護
兩年保修，更長的使用壽命，先進的加熱概念和儀表保護
即使在惡劣的等離子應用中，由于出色的信號穩定性和可重復性，也無需長期重新校準
合規性和標準：CE，EN，UL，SEMI，RoHS
典型應用
蝕刻，CVD，PVD和其他半導體生產工藝
化學和腐蝕性真空過程
一般的薄膜和真空工藝
用于根據標準監測測試儀器的參考傳感器
可追溯性測量的轉移標準
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